X荧光光谱仪随着分光、探测系统及X光管等的不断改善和电子计算机的应用，而得到迅速的推广和发展。可以预料，对新技术、新方法的探索，还会不断促进X荧光光谱仪器的更新发展。

X荧光光谱仪是一种快速的、非破坏式的物质测量方法，X射线荧光是用高能量X射线或伽玛射线轰击材料时激发出的次级X射线，这种现象被广泛用于元素分析和化学分析，特别是在金属，玻璃，陶瓷和建材的调查和研究，地球化学，法，考古学和艺术品，例如油画和壁画。

X荧光光谱仪是一种较新型的可以对多元素进行快速同时测定的仪器，在X射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线（即X荧光），波长和能量是从不同的角度来观察描述X射线所采用的两个物理量。

X荧光光谱仪根据其分光原理不同分成波长色散型X荧光光谱仪（波谱仪，WDXRF）和能量色散型X荧光光谱仪（能谱仪，EDXRF），我们通常所说的X荧光光谱仪就是指波长色散的仪器，X荧光光谱仪可对固体、粉末、液体、悬浮物、过滤物、大气飘尘、薄膜样品等进行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，检出限到2pg。

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