ICP还可以作为原子化器，如以空心阴灯为光源，ICP为原子化器的原子荧光光谱仪.这类仪器不采用单色器，以ICP为中心，在周围安装多个检测单元(每一元素配一个检测单元),形成了多元素分析系统.

ICP光谱仪仪器特点：进样系统具有、稳定的进样系统。通过不断地形成大小一致的液滴，eNeb选件可令Optima提供的稳定性和无可比拟的检出限，非常适用于环境和制剂实验室。有的RF发生器采用免维护的等离子体感应板，替代传统的螺旋负载线圈。无需冷却，氩耗降低，操作成本大大降低。

电感耦合等离子体发射光谱仪具有自主封装技术的高速 CCD 数采系统，可以对纺织品、玩具、催化剂、石油等各种样品进行无机元素分析。

电感耦合等离子体发射光谱仪可以进行冶金矿业中杂质元素和主量元素的含量分析。

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