ICP还可以作为原子化器，如以空心阴灯为光源，ICP为原子化器的原子荧光光谱仪.这类仪器不采用单色器，以ICP为中心，在周围安装多个检测单元(每一元素配一个检测单元),形成了多元素分析系统.

ICP光谱仪仪器特点：进样系统具有、稳定的进样系统。通过不断地形成大小一致的液滴，eNeb选件可令Optima提供的稳定性和无可比拟的检出限，非常适用于环境和制剂实验室。有的RF发生器采用免维护的等离子体感应板，替代传统的螺旋负载线圈。无需冷却，氩耗降低，操作成本大大降低。

电感耦合等离子体发射光谱仪采用人性化方法库设计，Windows 风格的方法库管理界面，符合使用习惯；详尽的方法信息和样品处理信息，便于随时调用

多电感耦合等离子体发射光谱仪是领域无机分析能手，环境中大气、水质、土壤和固废污染物中无机元素分析； 食品药品中营养元素和污染元素的定性定量分析；

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