电感耦合等离子光谱仪（Inductively Coupled Plasma Spectrometer，简称ICP）的原理主要基于电感耦合等离子体（Inductively Coupled Plasma，ICP）发射光谱分析技术，这是一种无机元素分析方法。
其核心在于通过电感耦合产生的高温、高密度的等离子体作为激发光源，对待测元素进行原子发射光谱分析。
ICP光谱仪的核心部分是ICP炬管，它利用高频感应电流产生的交变磁场，使炬管内的惰性气体（如氩气）电离，形成高温、高电子密度的等离子体。
高频电源产生的高频电流通过炬管外部的感应线圈，产生交变磁场。
这个交变磁场会在炬管内部的气体中产生感应电流，进而形成涡流。
涡流中的电子在交变磁场的作用下不断加速，与气体分子发生碰撞，导致气体分子的电离和激发。
随着电离和激发过程的持续进行，最终形成稳定的高温、高电子密度的等离子体。
这个等离子体的最高温度可达数千摄氏度，足以使样品中的元素原子化、激发并产生辐射。
在ICP光谱仪中，待测样品通常以溶液的形式被引入ICP炬管。
样品溶液通过进样系统（如雾化器、雾化室等）被雾化成细小的液滴，并随载气（如氩气）进入ICP炬管。
在ICP炬管的高温、高电子密度等离子体中，样品液滴迅速蒸发、原子化，形成原子和离子。
这些原子和离子在激发态下会发出特定波长的光。
ICP光谱仪中的单色器负责将原子和离子发出的光按波长分散成光谱。
单色器通常由入射狭缝、反射镜、光栅和出射狭缝等部件组成。
光栅是单色器的核心部件，它能够将复合光分解为不同波长的单色光。
这些光谱辐射经过光学系统的收集和处理，通过单色器将其按波长分散成光谱图。
每个元素在光谱图上都会显示出其特有的谱线，这些谱线的强度与该元素的含量成正比。
通过测量谱线的强度，可以实现对样品中元素的定量分析。
电感耦合等离子光谱仪以其高精密度、高效率、多元素同时分析等特点，广泛应用于地质、环境、食品、生物、医药、金属加工等领域。
随着科技的不断进步，ICP光谱仪也在不断发展和完善，为各个领域的研究和应用提供更加准确、可靠和高效的分析手段。